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更新時(shí)間:2021-02-09      瀏覽次數(shù):1179

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PARKER壓力開(kāi)關(guān)是使用為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的平膜壓變PARKER壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主,以彈性元件的形變指示壓力,但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重,不能提供電學(xué)輸出。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體PARKER壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是體積小、質(zhì)量輕、準(zhǔn)確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展,而且其功耗小、可靠性高。
半導(dǎo)體壓電阻型
半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散PARKER壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力,通過(guò)外力(壓力)使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果,從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
靜電容量型
(1) 方案選擇
在選擇方案之前應(yīng)首先弄清給定的技術(shù)指標(biāo),如示值范圍、示值誤差、分辨力、重復(fù)性誤差、時(shí)漂、溫漂、使用環(huán)境等。
(2) 鐵心材料的選擇
鐵心材料選擇的主要依據(jù)是要具有較高的導(dǎo)磁系數(shù),較高的飽和磁感應(yīng)強(qiáng)度和較小的磁滯損耗,剩磁 和矯頑磁力 都要小。另外,還要求電阻率大,居里點(diǎn)溫度高,磁性能穩(wěn)定,便于加工等。常用導(dǎo)磁材料有鐵氧體、鐵鎳合金、硅鋼片和純鐵。
(3)電源頻率的選擇
提高電源頻率有下列優(yōu)點(diǎn):能提高線圈的品質(zhì)因數(shù);靈敏度有一定的提高;適當(dāng)提高頻率還有利于放大器的設(shè)計(jì)。但是,過(guò)高的電源頻率也會(huì)帶來(lái)缺點(diǎn),如鐵心渦流損耗增加;導(dǎo)線的集膚效應(yīng)等會(huì)使靈敏度減低;增加寄生電容(包括線圈匝間電容)以及外界干擾的影響。
PARKER電感式位移傳感器 
工作原理
PARKER電感式傳感器的工作原理是電磁感應(yīng)。它是把被測(cè)量如位移等,轉(zhuǎn)換為電感量變化的一種裝置。按照轉(zhuǎn)換方式的不同,可分為自感式(包括可變磁阻式與渦流式)和互感式(差動(dòng)變壓器式)兩種。

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在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)科科學(xué)技術(shù)上,尤其是在白動(dòng)控制系統(tǒng)、機(jī)械加工與測(cè)量行業(yè)中應(yīng)用十分廣泛
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